EU-Förderung

Hochvakuum-Beschichtungsanlage mit Schichtdickenmesssystem und Glimmentladungseinheit

Installation: Juli 2021

Bei der Probenpräparation für die Elektronenmikroskopie ist häufig die definierte Beschichtung einer Probenoberfläche erforderlich. Insbesondere im Rasterelektronenmikroskop ist eine elektrisch leitfähige Beschichtung meist Voraussetzung für hochauflösende Abbildungen oder Elementanalysen. Die über den Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) geförderte Beschichtungsanlage Safematic CCU-10 erlaubt eine vollautomatische Beschichtung z.B. mit Kohlenstoff, Gold oder anderen Metallen im Hochvakuum und ermöglicht so die Abscheidung ultradünner und sehr gleichmäßiger Schichten. Mit Hilfe der eingebauten Schichtdickenmessung kann der Prozess im Nanometerbereich gesteuert werden um reproduzierbare Schichten zu gewährleisten.  Eine zusätzliche Glimmentladungseinheit zur Zündung eines Edelgasplasmas ermöglicht es darüber hinaus Probenoberflächen zu hydrophilisieren und von Verschmutzungen zu reinigen. Neben der Rasterelektronenmikroskopie bietet eine solche Vorbehandlung auch Vorteile für die Probenpräparation in der  Transmissionselektronenmikroskopie, da TEM-Trägernetzchen (grids) hydrophil funktionalisiert werden können, wodurch unter anderem die Anhaftung von Schnitten und Nanopartikelpräparationen entscheidend verbessert werden kann.