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Rasterelektronenmikroskopie (REM)

Mit der Raster-Elektronenmikroskopie (REM) können Oberflächen von Präparaten  hochaufgelöst abgebildet und untersucht werden. Dazu wird der Elektronenstrahl in einem Punktraster über das Präparat geführt, gleichzeitig werden die erhaltenen Signale mit geeigneten Detektoren aufgezeichnet und in einem Bildspeicher dargestellt. Neben der Topographie der Probe können auch Materialunterschiede sichtbar gemacht werden. Vorteile der REM sind, neben der hohen Ortsauflösung, eine erstaunliche Tiefenschärfe und ein großes Bildfeld.    

Feldemissionsrastereletronenmikroskop Merlin VP compact

Installation: Juni 2014

Auflösung: unter 1 nm

Detektoren: HE-SE2, BSE, In-lensDuo SE/BSE, VPSE

Zubehör: Charge compensation, VP-Modus (60Pa), Kryotisch

Analytik: Bruker Quantax 400, 30mm2, Energie-Auflösung 126eV